Analisis Pengaruh Variasi Material dan Ketebalan terhadap Ketahanan Stres pada Sensor Inersia MEMS

Aziza, Miladina Rizka ORCID: https://orcid.org/0000-0001-8832-7398, Hasanah, Novrindah Alvi, Primatama, Ardhito, Rizqulloh, Mochamad Shofwan, Sanaba, Utari, Safitri, Maulina, Addin, Marelda Mutiara and Akbar, Aes Agnesya (2025) Analisis Pengaruh Variasi Material dan Ketebalan terhadap Ketahanan Stres pada Sensor Inersia MEMS. Research Report. Lembaga Penelitian dan Pengabdian kepada Masyarakat UIN Maulana Malik Ibrahim Malang, Malang.

Text LAPORAN PENELITIAN MANDIRI UIN 2025.pdf Restricted to Repository staff only Download (2MB)

Abstract

Tegangan pada Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) sensor terbukti memiliki pengaruh signifikan terhadap penurunan akurasi sensor. Tegangan termomekanik yang timbul akibat proses perakitan kemasan maupun beban eksternal selama operasi dapat menyebabkan pergeseran sinyal keluaran (output offset) pada sensor MEMS. Untuk mencapai tingkat presisi yang tinggi pada
perangkat seperti akselerometer, giroskop, dan komponen MEMS lainnya, penerapan metode pemodelan dan simulasi lanjutan menjadi sangat krusial dalam meminimalkan offset drift yang diinduksi oleh tegangan. Oleh karena itu, penelitian ini bertujuan untuk menganalisis serta mensimulasikan pengaruh tegangan pada
sensor inersial melalui perancangan giroskop tipe tuning fork dengan massa bukti berperforasi, yang berfungsi untuk mengurangi efek redaman. Hasil penelitian menunjukkan bahwa variasi material dan ketebalan memiliki pengaruh terhadap distribusi tegangan pada sensor inersial. Tegangan minimum diperoleh pada sensor
berbahan silikon dengan ketebalan masing-masing 5 mm dan 20 mm, sehingga konfigurasi tersebut direkomendasikan untuk peningkatan stabilitas dan akurasi sensor MEMS.

Item Type:	Research (Research Report)
Keywords:	MEMS, sensor inersia, giroskop, tuning fork
Subjects:	09 ENGINEERING > 0906 Electrical and Electronic Engineering
Divisions:	Institute of Quality Assurance (Lembaga Penjaminan Mutu)
Depositing User:	Miladina Rizka Aziza
Date Deposited:	03 Dec 2025 14:53

Downloads

Origin of downloads

Actions (login required)

View Item